Profesorica Chen Rong i drugi istraživači u njezinoj skupini identificirali su nekoliko kritičnih problema na terenu
“Atomsko taloženje je univerzalna tehnologijataloženje usmjereno na budućnost, koje će igrati sve važniju ulogu u području mikronanoproizvodnje. Proizvođači čipova pokazali su veliki interes za ovu tehnologiju. Uz polje mikroelektronike, taloženje atomskog kamenca ima širok raspon primjena u optoelektronici, pohrani energije, katalizi i biomedicini,” kaže profesor Rong.
Smanjenje veličine nanomaterijala, nanostruktura, nanouređaja i nanosustava zahtijeva primjenu tehnologije taloženja na atomskoj razini
Ali da bi se postigla nanoproizvodnja s visokimTočnost mehanizma taloženja na atomskoj razini zahtijeva dubinsko proučavanje. Dok su tehnologije karakterizacije u porastu, tehnologija karakterizacije i manipuliranja pojedinačnim atomima još uvijek ima ogroman prostor za poboljšanje. Složene nanostrukture zahtijevaju kombinaciju nekoliko procesa za različite materijale. Međutim, da bi se postigla integracija procesa, potrebno je uzeti u obzir točnost i učinkovitost obrade kao međusobno inhibirajuće čimbenike.
Istraživači su pretpostavili da taloženje naatomska razina može se koristiti za proširenje Mooreova zakona. Taloženje na atomskoj razini tehnologija je koja sve više obećava za preciznu izradu složenih nanostruktura, omogućujući stvaranje ekvivalentne topografije s boljom kontrolom debljine filma i bez hrapavosti površine. Smatra se vrhunskom tehnologijom za proizvodnju sklopova poluvodiča.
Podsjetimo da nakon što je industrija uspješnorazvio napregnute Si/Ge, vrata s visokim udjelom kalija/metala i FET-ove s rebrima, kritična veličina FET-ova smanjena je na 7 nm, što znači da postoji gotovo 7 milijardi tranzistora po kvadratnom centimetru na jednom čipu. To predstavlja ogromne izazove za rebrastu strukturu i metode nanofabrikacije. Do sada se u nekim kritičnim fazama koristila ekstremna ultraljubičasta litografija, ali se suočava s nepreciznošću poravnanja i visokim troškovima u proizvodnji velike količine.
Još 1959. godine profesor Feynman je predložio:"Ima dovoljno mjesta na dnu." Ova je izvedba nadahnula ljude da manipuliraju atomima ili molekulama kao građevnim blokovima za projektirane strukture. Prvi korak je raspršivanje, koje osigurava lateralnu angstrom rezoluciju u okomitom smjeru, kao i jetkanje odozgo prema dolje, kao što je dvostruko slikanje. Zatim se koriste različite tehnike selektivnog taloženja šablona za poravnavanje složenih 3D struktura, uključujući dielektrične šablone, inhibitore i korake korekcije. Konačno, razlučivost na atomskoj skali može se postići inherentno selektivnim taloženjem.
Metode taloženja na atomskoj razinikarakteriziraju konformalnost i homogenost tankih filmova. Taloženje na atomskoj razini može rezultirati horizontalnom rezolucijom u okomitom smjeru za različite strukture visokog omjera, uključujući bočne stijenke, nanožice, nanocijevi. Samoporavnavajući dvostruki uzorak tipičan je primjer okomite rezolucije. Taloženje na atomskoj razini može poboljšati točnost nanostrukture i proizvesti neke posebne strukture koje mogu dodatno smanjiti veličinu elementa i povećati gustoću tranzistora, čime se kratkoročno pridonosi djelovanju Mooreova zakona.
Kako uređaja postaje sve višesloženi, usmjereni rast tankih filmova smatra se važnim aspektom nanoproizvodnje. Selektivno taloženje učinkovita je tehnika izravnavanja koja može skratiti korake poput fotolitografije i jetkanja. Učinkovito, visoko selektivno taloženje obično se postiže korištenjem posebnih šablona. S njima proizvođači čipova mogu ne samo slagati tranzistore izravno u tri dimenzije, već i integrirati višenamjenske značajke kao što su senzori i pohrana energije u čipove za proizvodnju superčipova.
Pripremite odgovarajuće predloške za selektivnoTaloženje niskodimenzionalnih materijala i složenih 3D struktura korištenjem trenutnih pristupa odozgo prema dolje prilično je teško. U postsilicijskoj eri taloženje na atomskoj razini postaje popularan način za stvaranje mnogih alternativnih nanomaterijala kao što su 2D, ugljik, feroelektrični materijali i materijali s promjenom faze.
Čitaj više:
Teleskop James Webb napravio je prvu sliku Jupitera: prikazuje 9 pokretnih ciljeva odjednom
Znanstvenici razumiju zašto su T-Rex i drugi veliki dinosauri imali male "ruke"
Najstarija misija Voyagera 1 ima čudan kvar koji se ne može popraviti