Megjelent a vékony atomrétegek új alkalmazásának módja

Az Alabamai Egyetem kutatói új módszert mutattak be vékony atomrétegek lerakódására, mint

bevonat az anyagra szobahőmérséklethez közeli hőmérsékleten. A tudósok ultrahangos porlasztási technológiát alkalmaztak az atomréteg-lerakódásban (ALD) használt vegyszerek elpárologtatására.

„Az ALD egy módszer a háromdimenziós vékony alkalmazásárafilmek, amely fontos szerepet játszik a mikroelektronika, különösen olyan elemek előállításában, mint a központi processzorok, a memória és a merevlemezek ”- jegyzik meg a tudósok. Minden ALD ciklus több atom mély réteget alkalmaz.

Az ALD folyamatok jellemzően fűtötta gázfázisban lévő molekulák, amelyek szilárd vagy folyékony formában elpárolognak - hasonlóan a szobai párásítókhoz, amelyek hőt használnak a víz elpárologtatásához. Ebben a folyamatban azonban egyes kémiai elemek instabilak és a gőznyomás megkezdése előtt lebomlanak.

A tudósok létrehozzák a legcsendesebb félvezető kvantumbiteket

„A mi általunk kifejlesztett ultrahangos porlasztáskutatócsoport lehetővé teszi alacsony gőznyomású prekurzorok beszerzését, mivel a párologtatás a modul ultrahangos rezgése miatt következett be. A háztartási párásítóhoz hasonlóan az ultrahangos porlasztás is telített gőz és mikrocseppek ködét képezi. A mikronméretű cseppeket folyamatosan elpárologtatjuk, és az anyag felületére visszük fel ”- jegyezték meg a kutatók.

Ez a folyamat ultrahangot használegy folyékony kémiai prekurzorba helyezett transzformátor. Miután elindította, a készülék másodpercenként több százszor rezeg, és anyagködet képez. A ködben lévő kis folyadékcseppek gyorsan elpárolognak a gázelosztóban vákuum és enyhe hőkezelés mellett, egyenletes réteg felhordva.

Olvassa el

Az Északi-sarkvidéken folytatott éves misszió befejeződött, és az adatok kiábrándítóak. Mi vár az emberiségre?

A tudósok kiderítették, miért a gyermekek a COVID-19 legveszélyesebb hordozói

Ázsiai gyilkos szaruhák fészkét találták és megsemmisítették az USA-ban