חוקרים מאוניברסיטת אלבמה הציגו שיטה חדשה להפקדת שכבות דקות של אטומים
"ALD היא שיטה ליישום דק תלת מימדיסרטים, אשר ממלאים תפקיד חשוב בייצור מיקרואלקטרוניקה, בפרט, אלמנטים כגון יחידות עיבוד מרכזיות, זיכרון וכוננים קשיחים ", מציינים המדענים. כל מחזור ALD מחיל שכבה בעומק של כמה אטומים.
תהליכי ALD משתמשים בדרך כלל בחימוםמולקולות בשלב הגז שמתאדות מצורה מוצקה או נוזלית - ממש כמו מכשירי אדים בחדר, המשתמשים בחום לאידוי מים. עם זאת, בתהליך זה, כמה אלמנטים כימיים אינם יציבים ויכולים להתפרק לפני שמתחיל לחץ האדים.
מדענים יוצרים את הסיביות הקוונטיות של מוליכים למחצה השקטים ביותר
"אטומי קולי שפותח על ידי שלנוקבוצת מחקר, מאפשר לך להשיג מבשרי לחץ לחץ אדים נמוכים, מכיוון שהתאדות התרחשה עקב הרטט האולטראסוני של המודול. כמו במכשיר אדים ביתי, אטומיזציה אולטראסונית יוצרת ערפל של קיטור רווי ומיקרו טיפות. טיפות בגודל מיקרון מתאדות באופן רציף ומוחלות על פני החומר ", ציינו החוקרים.
בתהליך זה משתמשים באולטרה סאונדשנאי הממוקם בקדם כימי נוזלי. לאחר ההשקה, המכשיר רוטט בקצב של כמה מאות פעמים בשנייה ויוצר ערפל של חומר. טיפות נוזל קטנות בערפל מתאדות במהירות בסעפת הגז תחת ואקום וטיפול בחום עדין, ומשאירות אחריה שכבה אחידה של חומר מיושם.
קרא גם
המשימה השנתית בארקטי הסתיימה והנתונים מאכזבים. מה מחכה לאנושות?
מדענים גילו מדוע ילדים הם הנשאים המסוכנים ביותר של COVID-19
קן צרעות הרוצח האסיאתיות שנמצא והושמד בארה"ב