MITのエンジニアは、薄い板状の材料の形状を変化させて、
テンソルを完全に制御するにはYuwei Yao 率いる研究者グループは、光学面のベースの裏側に特殊な格子で構成される準周期セルを適用する技術を開発しました。科学者たちは、彼らの手法を応力テンソル メソ構造と呼びました。
生産開始前の地下基盤光学デバイスの裏側は、二酸化シリコン製の高強度フィルムの薄層でコーティングされています。応力パターンはリソグラフィーを使用してフィルム上に印刷されるため、研究者は特定の領域の材料の特性を変更できます。
のフィルムコーティングの局所的な変化さまざまな領域が、表面に応力が加えられて張力が形成される場所を示しています。また、光学面とコーティングが接着しているため、コーティング材を操作することで光学面の形状が変化します。
「各基本セルの格子を回転させるまた、選択した領域の面積の割合を変更することで、応力テンソル場の3つのコンポーネントすべてを、簡単なパターン化プロセスで同時に制御できます」とYao氏は説明します。
との前のシリコンウェーハ表面の歪み2D応力補正後。プレートの平坦度は20倍以上向上しています。画像の縮尺はわかりやすくするために歪んでいます（変形の高さはnmで示され、横軸はmmで示されます）。出典：Yuwei Yao、MIT
研究者らが指摘しているように、薄いプレートは半導体製造だけでなく、可変ミラーなどの複雑で高度な光学システムにも必要です。新しいテクノロジーにより、生産はより正確で、拡張性があり、より安価になります。これは、従来の製造方法では厳しい要件を満たさない宇宙光学系などの超軽量システムに特に当てはまります。
研究者は技術を改善することを計画しています使用中に表面応力を自動的に調整できるようにします。これを行うために、エンジニアは圧電ドライブを使用してメソ構造を薄いプレートに配置することを計画しています。これにより、マイクロエレクトロニクスやソフトロボティクスで使用するために、テクノロジーを光学系を超えて拡張することができます。
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