Alabamos universiteto mokslininkai pristatė naują plonų atomų sluoksnių nusodinimo metodą kaip
„ALD yra erdvinio plono taikymo metodasfilmus, kurie vaidina svarbų vaidmenį gaminant mikroelektroniką, ypač tokius elementus kaip centriniai procesoriai, atmintis ir standieji diskai “, - pažymi mokslininkai. Kiekvienas ALD ciklas uždeda kelių atomų gylio sluoksnį.
ALD procesuose paprastai naudojamas šildomasdujų fazės molekulės, garuojančios iš kietos ar skystos formos, panašiai kaip patalpų drėkintuvai, kurie šilumą naudoja vandeniui išgarinti. Tačiau šiame procese kai kurie cheminiai elementai yra nestabilūs ir gali suirti dar neprasidėjus garų slėgiui.
Mokslininkai sukuria tyliausius puslaidininkinius kvantinius bitus
„Mūsų sukurtas ultragarsinis purškimastyrimų grupė leidžia gauti pirmtakus su mažu garų slėgiu, nes garavimas įvyko dėl ultragarso modulio vibracijos. Kaip ir buitinio drėkintuvo atveju, ultragarsinis purškimas sukuria sočiųjų garų ir mikrolašelių miglą. Mikronų dydžio lašeliai nuolat garinami ir tepami ant medžiagos paviršiaus “, - pažymėjo tyrėjai.
Šiame procese naudojamas ultragarsinistransformatorius, įdėtas į skystą cheminį pirmtaką. Paleistas prietaisas vibruoja kelis šimtus kartų per sekundę ir sukuria medžiagos miglą. Maži skysčio lašai rūke greitai išgaruoja dujų kolektoriuje vakuume ir švelniai termiškai apdorojant, paliekant tolygų tepamos medžiagos sluoksnį.
Taip pat skaitykite
Kasmetinė misija Arktyje baigėsi ir duomenys nuvilia. Kas laukia žmonijos?
Mokslininkai išsiaiškino, kodėl vaikai yra pavojingiausi COVID-19 nešiotojai
JAV rastas ir sunaikintas Azijos žudikų širšių lizdas