A apărut o nouă modalitate de aplicare a straturilor subțiri de atomi

Cercetătorii de la Universitatea din Alabama au prezentat o nouă metodă de depunere a straturilor subțiri de atomi ca

acoperire pe material la o temperatură apropiată de temperatura camerei. Oamenii de știință au folosit tehnologia de atomizare cu ultrasunete pentru a vaporiza substanțele chimice utilizate în depunerea stratului atomic (ALD).

„ALD este o metodă de aplicare subțire tridimensionalăfilme, care joacă un rol important în producția de microelectronică, în special elemente precum unități centrale de procesare, memorie și hard diskuri ”, notează oamenii de știință. Fiecare ciclu ALD aplică un strat adânc de câțiva atomi.

Procesele ALD folosesc de obicei încălzitmolecule în fază gazoasă care se evaporă din formă solidă sau lichidă - la fel ca umidificatoarele de cameră, care folosesc căldura pentru a evapora apa. Cu toate acestea, în acest proces, unele elemente chimice sunt instabile și se pot descompune înainte de a începe presiunea vaporilor.

Oamenii de știință creează cei mai silențiosi biți cuantici semiconductori

„Atomizarea cu ultrasunete dezvoltată de compania noastrăgrup de cercetare, vă permite să obțineți precursori cu presiune de vapori scăzută, deoarece evaporarea a avut loc din cauza vibrațiilor ultrasonice ale modulului. Ca și în cazul umidificatorului de uz casnic, atomizarea cu ultrasunete creează o ceață de abur saturat și micro-picături. Picăturile de dimensiuni micronice sunt evaporate continuu și aplicate pe suprafața materialului ”, au remarcat cercetătorii.

Acest proces utilizează ultrasuneteun transformator plasat într-un precursor chimic lichid. Odată lansat, dispozitivul vibrează cu o rată de câteva sute de ori pe secundă și creează o ceață de material. Picături mici de lichid din ceață se evaporă rapid în colectorul de gaz sub vid și tratament termic delicat, lăsând în urmă un strat uniform de material aplicat.

Citește și

Misiunea anuală în Arctica s-a încheiat, iar datele sunt dezamăgitoare. Ce așteaptă omenirea?

Oamenii de știință au aflat de ce copiii sunt cei mai periculoși purtători de COVID-19

Cuib de viespe ucigașe asiatice găsite și distruse în SUA