Дослідники з Університету Алабами представили новий спосіб нанесення тонких шарів атомів як
«ALD - це метод нанесення тривимірних тонкихплівок, який грає важливу роль в виробництві мікроелектроніки, зокрема, таких елементів, як центральні процесори, пам'ять і жорсткі диски », - відзначають вчені. Кожен цикл ALD завдає шар глибиною в кілька атомів.
У процесах ALD зазвичай використовуються нагрітімолекули в газовій фазі, які випаровуються з твердої або рідкої форми - приблизно так само, як кімнатні зволожувачі, які використовують тепло для випаровування води. Однак в цьому процесі деякі хімічні елементи нестабільні і можуть розкладатися до початку тиску пара.
Вчені створюють тихі напівпровідникові квантові біти
«Ультразвукове розпилення, розроблене нашоїдослідницькою групою, дозволяє отримувати прекурсори з низьким тиском пари, оскільки випаровування відбувалося через ультразвукової вібрації модуля. Як і у випадку з побутовим зволожувачем повітря, ультразвукове розпорошення створює туман, що складається з насиченого пара і мікрокрапель. Краплі мікронного розміру безперервно випаровуються і наносяться на поверхню матеріалу », - відзначили дослідники.
У цьому процесі використовується ультразвуковийперетворювач, поміщений в рідкий хімічний прекурсор. Після запуску пристрій починає вібрувати зі швидкістю кілька сотень разів в секунду і створює туман з матеріалу. Невеликі краплі рідини в тумані швидко випаровуються в газовому колекторі під дією вакууму і м'якою термообробки, залишаючи після себе рівний шар наноситься.
Читати також
Річна місія в Арктиці закінчилася, і дані невтішні. Що чекає людство?
Вчені з'ясували, чому діти є найнебезпечнішими переносниками COVID-19
У США знайшли і знищили гніздо азіатських шершнів-убивць